半導体産業は、情報通信、高性能計算、自動車電子、エネルギー分野などを支えるグローバルな基盤産業である。本産業は高度な国際分業体制のもとで成り立っており、設計、製造、パッケージングおよびテストなどの各工程において、地域間の緊密な連携が不可欠である。半導体製造は典型的な「装置駆動型」産業であり、その生産能力および技術レベルは、採用される製造装置に大きく依存する。

先端プロセスがより微細な寸法および高集積化へと進展する中で、装置構造ならびに光学・回路設計は徐々に技術的限界に近づきつつあり、単純なアーキテクチャ最適化のみによる性能向上の余地は縮小している。このような状況下において、電子源、光学・電子光学部材、高耐環境構造材料といった重要材料が、次世代半導体装置の発展を支える重要なブレークスルーの方向性として位置付けられている。

このような背景のもと、ラムリサーチ（Lam Research）と日本国立研究開発法人物質・材料研究機構（National Institute for Materials Science, NIMS）は、半導体製造システムにおける高性能材料を対象とした長期的な共同研究を推進している。本研究では、極端環境下における材料特性およびその応用に関する課題に重点を置き、継続的な研究の深化を図るものである。また、本研究は、NIMSの主任研究員である達 博博士が主導して推進している。

本共同研究を基盤として、半導体装置用材料分野における学術交流および協働研究の強化を目的とする。一方では、学術訪問、共同研究、専門講演などを通じて、研究者が半導体装置企業における材料ニーズへの理解を深めることを促進する。他方では、情報発信および研究成果の共有を通じて、産業界における研究進展の認知を高め、産業ニーズと研究開発の方向性との効果的な連携を推進する。

Lam Researchは、半導体製造装置分野におけるグローバルリーディング企業であり、世界各国の研究機関との科学研究支援および協業に長年取り組んできており、半導体製造に関わる重要技術の発展と革新を推進している。

NIMSは、日本を代表する国立研究機関の一つであり、材料科学分野における体系的な基礎研究および応用研究を展開するとともに、国内外の大学および産業界と幅広い連携を行っている。