達博博士、日立財団の研究報告会にて半導体電子ビーム装置向け重要材料の最新成果を発表

2026年3月2日に日立財団が開催した倉田奨励金研究報告会において、物質・材料研究機構（NIMS）の達博博士が研究発表を行いました。講演では、半導体電子ビーム装置に用いられる重要材料に関する最新の研究成果として、回転対称の配向構造を有する新しい結晶薄膜材料を紹介しました。また、この材料の電子ビーム集束、電子光学デバイス、ならびに次世代マイクロフォーカスX線源への応用可能性について説明し、先進的電子ビーム装置の発展に向けた新たな材料および物理的基盤を示しました。